堅型平面超仕上盤
FS-120NANO
加工事例
1) メカニカルシール
2) ノズルホルダ
3) センサ素子
特徴
- 竪型の平面超仕上盤
- 竪1軸の加工物回転軸と２頭の竪型回転式ストンヘッドをエロライドユニット(オシレーション機構) に装備
- 加工物回転軸にはパワーチャック又はバキュームチャックの取付ができるため、異形状の加工物でも正確かつ敏速に着脱可能
主仕様
| 1 ) 主軸部 | |
|---|---|
| 回転数 | Max. 3,000 rpm |
| モータ | ACサーボモータ |
| 2 ) ストンヘッド装置部 | |
| 回転数 | Max. 3,000 rpm |
| モータ | ACサーボモータ |
| 加圧ストローク | 25 mm |
| 砥石加圧 |
電空レギュレータ制御 自動多段切替 |
| アプローチ装置 | |
| 移動量 | 25 mm |
| モータ | ACサーボモータ |
| 3 ) 超仕上ユニット装置部 | |
| トラバース装置 | |
| 移動量 | 165 mm |
| モータ | ACサーボモータ |
| オシレーション装置 | |
| 振動数 | Max. 2000 fpm |
| 振幅 |
振幅変更は オシレーションリング変更による |
| モータ | ACサーボモータ |
| 昇降装置 | |
| 移動量 | 145 mm |
| モータ | ACサーボモータ |
| 4 ) 機械寸法 | |
| （W）1,730 ×（D）1,600 ×（H）2,000 mm | |
| 5 ) 機械重量 | |
| 3,000 Kg | |
注）仕様は予告なく変更することがあります。
